Електронни и йонни технологии

В книгата се разглеждат физическите явления, свързани с генерирането на интензивни потоци от електрони и йони. Представени са основните резултати от взаимодействието на ускорените частици с различни материали. Обсъдено е нанасянето на тънки слоеве чрез методи като йонно разпрашване и електроннолъчево изпарение. Анализирани са процесите по обработка на микроелектронни структури, включително йонно ецване, имплантация и литография с електрони и йони. Предоставена е информация за съвременните техники за анализ на повърхности и микроструктури с помощта на тези потоци. Освен това са описани текущите технологии в областта на електроннолъчевото заваряване, топене и рафиниране, както и модификацията на повърхности посредством електронни и йонни лъчи. Книга съдържа данни относно конструкцията и принципа работа на използваните устройства; изложени са методологии за избор на технологичните параметри; предложени са алгоритми за компютърното моделиране на изучаваните процеси, а също така обсъдени резултатите от числени експерименти проведени от автора и неговия екип.